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更新時(shí)間：2024-03-07 
瀏覽次數(shù)：205激光掃描表面形狀檢查機(jī)
核心系統(tǒng)“CSYS"系列的激光掃描寬度為40毫米，可以測(cè)量大范圍內(nèi)的微小高度變化。其他公司無(wú)法重現(xiàn)實(shí)際的表面變化，因?yàn)樗鼈儗⑿^(qū)域的數(shù)據(jù)圖像拼接在一起。
核心系統(tǒng)是“激光表面形狀檢查機(jī)"，可檢查半導(dǎo)體晶圓（Si、SiC、GaN等）、MEMS、硬盤(pán)、FPD用功能膜、濺射薄膜等的“表面形狀"和“粗糙度"。可以高靈敏度、快速、大范圍地檢查“起伏"、“顆粒"、“劃痕"，并顯示“數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)"和“3D圖像數(shù)據(jù)" ."
【特征】
① 非接觸式激光掃描顯示表面形狀（粗糙度、波紋度、劃痕、污垢、顆粒）測(cè)量數(shù)據(jù)
② 檢測(cè)靈敏度高，可在較寬的測(cè)量范圍內(nèi)進(jìn)行快速測(cè)量，并可進(jìn)行數(shù)字圖像顯示。
③ 光學(xué)檢測(cè)原理和結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可靠性高
④ 由于40毫米的掃描寬度是在2.8毫秒的短時(shí)間內(nèi)完成掃描的，因此具有的抗振能力，不需要隔振臺(tái)或隔振裝置。
⑤ 所有在線過(guò)程的無(wú)損檢測(cè)，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化
[被測(cè)工件]
半導(dǎo)體晶圓、硬盤(pán)、金屬薄膜、薄膜、FPD、MEMS等
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