h-square低接觸全自動(dòng)晶圓傳輸機(jī) - LCT1AS12特征？

更新時(shí)間：2023-12-11

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產(chǎn)品

描述

桌上型自動(dòng)高性能水平晶圓轉(zhuǎn)移工具。先進(jìn)的低接觸晶圓傳輸機(jī)可提供最潔凈、可靠和快速的標(biāo)準(zhǔn)晶圓和易碎晶圓傳輸方式。

堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)提供高可靠性和低維護(hù)成本，小體積的設(shè)計(jì)節(jié)省寶貴的潔凈室空間。LCT1AS12兼容所有業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)的FOUP、FOSB和SEMI標(biāo)準(zhǔn)金屬和塑料開(kāi)放式料盒。

LCT1AS12 特性：

觸摸屏控制

FOUP 轉(zhuǎn) FOSB

交叉槽、晶圓重疊和晶圓存在的傳感器映射檢查

PVDF 涂層桿

一次傳輸 25 個(gè)晶圓

規(guī)格

晶圓尺寸300

電源要求220VAC 至 24VDC 3 安培電源單獨(dú)出售

吞吐量每小時(shí) 60 盒

重量75 磅

附加信息

裝運(yùn)重量165磅

裝運(yùn)尺寸19 × 35 × 20 英寸

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